专利名称:一种直线等离子体实验装置专利类型:实用新型专利
发明人:桑超峰,孙长江,王奇,叶灏,王越申请号:CN202022290972.2申请日:20201015公开号:CN212906716U公开日:20210406
摘要:本实用新型公开一种直线等离子体实验装置,包括等离子体源、等离子体源室、辅助加热室、靶室、材料分析交换室和送样单元,等离子体源室、辅助加热室、靶室和材料分析交换室均连接有分子泵;等离子体源、等离子体源室、辅助加热室和靶室的外部均设置磁体线圈;辅助加热室内设置天线,天线连接有加热电源,天线为能够允许等离子束穿过的环形,天线固定于辅助加热室的内壁上。本实用新型的直线等离子体实验装置,具备等离子体实验功能,在等离子体源室与靶室之间设置了辅助加热室,能够对等离子体源产生的等离子体进行二次加热,提供的环境能够充分研究等离子体在整个刮削层和偏滤器中的输运、脱靶、杂质注入和粒子再循环等物理过程。
申请人:大连理工大学
地址:116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
国籍:CN
代理机构:北京高沃律师事务所
代理人:王富强
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容